BDD 半導體製程應用

國際公開案例｜電解硫酸的減酸潛力

特定去光阻工程，硫酸用量試算減少約 70%

東芝、芝浦機電與 Chlorine Engineers 於 2007 年共同公開電解硫酸去光阻技術。依東芝官方公告，特定圖案修正工程的硫酸使用量，試算可減少約 70%，並取消過氧化氫的使用，展現藥液循環利用與降低環境負荷的潛力。

資料來源：東芝官方公告，2007 年 2 月 19 日。https://www.global.toshiba/jp/news/corporate/2007/02/pr1901.html
本案例為國際技術參考，非沃爾德設備實測成果；實際效益須依製程條件驗證。